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特气输送面板是气源部门极度重要的节制单元。。通常工艺气体从钢瓶出来，，，经过高压节制盘面时，，，都实现了一次调压、、过滤、、流量不变、、吹扫、、抽真空、、压力侦测等职能。。分歧的气体和工艺需要，，，能够凭据现实情况定制具体职能。。现阶段，，，越来越多的高校尝试室引入了ICP、、PVD、、PEVCD等设备进行芯片镀膜、、刻蚀方面的钻研，，，这些工艺气体多是硅烷、、乙烯、、溴化氢等毒腐、、易燃易爆性气体，，，对于气源的节制要求极度高，，，也给供气面板提出了好多要求。。

设计参考：：

天然性、、可燃性、、毒性、、侵蚀性气面子板应设有垂危关断阀门，，，并应为常闭气动阀门，，，地位应靠近气瓶；；

气瓶压力大于0.1MPa的天然性、、可燃性、、毒性、、侵蚀性气面子 板应设有过流开关；；

天然性、、可燃性、、毒性、、侵蚀性气面子板应设有惰性气体吹扫、、辅助抽真空装置，，，真空管路应设止回阀；；

气面子板应设置工艺气体排气口。。

可燃性特气柜设计参考：：

硅烷气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次/H，，，且气柜的负压应陆续监控；；自燃性特种气体的气瓶柜应设置紫外、、红外火焰探测器；；可燃性特种气体的气瓶柜应设置谁喷淋系统；；自燃性特种气体的气柜应在气瓶之间设置隔离钢板。。

输送节制面板的设计对于整个供气系统的便捷性、、性命安全都起到极度重要的节制作用，，，在设计初期，，，业主必要将工艺、、要求等提供给设计院作为设计凭据，，，同时，，，在建设周期，，，有必要参考相应的规范将要求落实到施工傍边去。。

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