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特气系统（可燃性、、自燃性、、毒性、、氧化性、、侵蚀性特种气体）压力试验实现后，，，应进行氦检漏试验，，，并按要求做好纪录。
。试验实现后，，，应提交测试汇报。
。同时，，，特种气体系统还必要做particle（颗粒度）、、水分（Moisture）、、氧分等的测试。
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三项检测：
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颗粒度测试，，，其气体流量应凭据管道直径确定，，，测试气源的颗粒数应在划定颗粒粒径状态为零。
。测试气体中大于0.1μm~0.3μm的颗粒数应小于或等于35颗粒

/m?，，，陆续三次达标为合格。
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水分测试，，，气体速度应低于设计流速的10%，，，且小于3m/s,测试气源的水分应小于1ppbv，，，水分增量应小于20ppbv，，，测试实现后，，，应至少维持20min不变在划定值以下为合格。
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特种气体系统氧分测试，，，气体速度低于设计流速的10%，，，且小于3m/s，，，试气源的氧分应小于1ppbv，，，氧分增量应小于20ppbv，，，测试实现后，，，应至少维持20min不变在划定值以下为合格。
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三项检测实现后，，，必要提交测试汇报，，，且必要用尺度体式，，，详见附件：
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